Какво е фотолитография?
Фотолитографията е един от важните процеси в производството на интегрални схеми (ИС или чипове). Казано по-просто, това е процес на копиране на модел на верига върху субстрат с помощта на фотомаска и фоторезист.
Субстратът ще бъде боядисан върху изолационен слой от силициев диоксид и фоторезист. Фоторезистът може лесно да се разтвори с проявител, след като бъде изложен на UV светлина, след разтваряне и ецване, моделът на веригата ще остане върху субстрата.
Какво е фоторезист? Защо 500nm UV дължина на вълната трябва да блокира?
Фоторезистът се комбинира със смоли, разтворители и добавки. Светлочувствителният диапазон на фоторезиста е 200 nm-500nm. Следователно, много лаборатории за полупроводници ще приемат жълта светлина, която блокира 500nm UV дължина на вълната, за да предотврати ситуации на преекспониране или преждевременно излагане на фоторезиста.
